超过10万个。单台售价超过26亿人民币。全世界只有荷兰 ASML 一家能造。

　　这些都是大家耳熟能详的事了。但有一个问题很少有人提：这10万个零件里面，阀门、真空泵、密封件这些「小东西」，到底是谁在供？

　　我前阵子翻了一份半导体设备零部件的行业报告，里面有个数字让我愣了一下：中国半导体设备用的高端真空阀门，国产自给率不到2%。

　　这意味着什么？意味着中国的芯片厂、设备厂，每装一台刻蚀机、每建一条产线，里面那些控制气体进出的精密阀门，几乎全部要从国外买。买谁的？主要是一家瑞士公司，叫 VAT Group。

　　VAT 这家公司你大概率没听说过。它不像 ASML 那么出名，也不像德国蔡司那样经常被媒体提起。但在半导体设备这条供应链上，VAT 是个隐形大佬。

　　半导体真空阀门这个细分市场，VAT 的全球市占率超过70%。在先进制程领域，这个数字据说超过90%。2025年全年营收超过10亿瑞士法郎，折合人民币大约80亿。80亿，就靠卖阀门。

　　芯片制造的核心工艺，不管是光刻、刻蚀还是薄膜沉积，都需要在真空环境下完成。特别是 EUV 光刻机，用的是13.5纳米波长的极紫外光，这种光碰到空气就被吸收了，连一毫米都传不出去。所以整台机器内部必须抽成超高线次方帕斯卡。

　　打个比方，普通大气压是10万帕斯卡。EUV 光刻机里面的气压，是大气压的百亿分之一。

　　在这种极端环境下，阀门干的活不是简单的「开」和「关」。它要精确控制各种工艺气体的流量、时序和压力，同时保证绝对不能漏气，绝对不能产生微粒污染。一个阀门漏了，整台几亿的设备就得停机；一颗肉眼看不见的微粒掉进去，一片晶圆就报废了。

　　所以半导体真空阀门的技术要求极其变态：超高洁净度、超低漏率、耐腐蚀、耐高温、动作精度到微秒级。

　　VAT 在这个领域深耕了几十年，有大量专利和工艺积累。全球主要的半导体设备厂商，不管是 ASML、应用材料还是东京电子，产线上装的基本都是 VAT 的阀门。美国的世伟洛克（Swagelok）在气体管路阀门上也占了很大份额。

　　这就形成了一个局面：中国的半导体设备越做越好，北方华创的刻蚀机、拓荆科技的薄膜沉积设备、芯源微的涂胶显影设备，一个比一个争气。但你把这些设备拆开看，里面的核心零部件，阀门买瑞士的，真空泵买欧美的，射频电源买美国的。

　　一个做半导体设备的朋友跟我说过一句话：整机国产化率看着挺高，但你如果把「卡脖子零部件」单独拎出来算，国产化率低得吓人。

　　很多人对沈阳的印象还停留在重工业、老国企、铁西区那些冒烟的烟囱。但实际上，沈阳这些年闷声干了一件大事：搞出了一个半导体装备产业集群。

　　拓荆科技，国内薄膜沉积设备的头部企业，沈阳的。芯源微，涂胶显影设备的龙头，沈阳的。新松机器人，做半导体晶圆搬运的真空机械手，沈阳的。富创精密，半导体设备精密零部件，沈阳的。中科仪，做干式真空泵的，也是沈阳的。

　　这个集群的特点是什么？是「整机+零部件」配套。不光做设备，还做设备里面的核心零件。

　　富创精密的创始人叫郑广文，1966年生人，吉林工大毕业。他早年是做汽车4S店的，生意C7电子股份有限公司做得挺好。2003年，中科院沈阳自动化研究所旗下有家公司改制，郑广文投了钱进去。2008年正式创立了富创精密。

　　一个卖汽车的人去搞半导体精密零部件，当时没几个人理解。郑广文自己后来接受采访时说，那会儿汽车行业「日进斗金」，但他就是觉得做制造业踏实，而且半导体是制造业里最高端的。

　　起步阶段非常痛苦。半导体设备零部件的加工精度要求极高，一个真空腔体的表面粗糙度要做到纳米级，焊缝不能有任何气孔，尺寸公差比头发丝还细。

　　更要命的是客户验证。你做出来了，人家不敢用。半导体产线容错率为零，换一个新供应商的零件，万一出了问题，一片晶圆几千块钱，一天停产的损失是按百万算的。所以国际大厂对零部件供应商的认证极其严格，一轮验证走下来少说一年，多的三五年。

　　2022年在科创板上了市。2024年营收做到30亿。2025年超过35亿。客户名单里有应用材料、东京电子这些全球顶尖的设备厂商，也有北方华创、中微公司、拓荆科技这些国产设备厂。

　　中科仪的全名很长：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司。前身是1958年成立的中科院沈阳科学仪器研制中心，跟共和国同龄的那批老所。

　　这家企业做的是干式真空泵。真空泵跟真空阀门是一对搭档，一个负责抽气，一个负责控制。芯片制造里用的干式真空泵，以前也是被欧美日企业垄断的。

　　中科仪干了一件别人没干成的事：它是国内唯一一家在14纳米先进逻辑芯片和128层以上3D NAND 存储器产线上实现批量应用的国产干泵企业。

　　这句话很绕，但你只需要记住一个意思：中国最先进的芯片产线上，用的国产真空泵，就是这家沈阳企业做的。

　　2024年，中科仪的营收做到10.8亿。2025年将近13亿。今年4月29日，中科仪在北交所上了市。这是北交所时隔三年重启询价发行后的第一家硬科技企业，也是今年沈阳的第一家上市公司。

　　凯必特斯，2014年成立，总部在上海，专门做半导体真空阀门。产品已经导入了盛美半导体、中芯国际、华虹这些客户的供应链。

　　沈阳也有一家做超高真空部件的企业——沈阳市超高真空应用技术研究所。这是一家民营科技企业，做闸阀、直角阀这些真空部件，产品用在了多种真空装备上。

　　加上中科仪的真空泵、富创精密的精密腔体和结构件，沈阳这个集群已经在半导体设备的「心脏零部件」领域布了一个局。

　　VAT 一年营收80亿人民币，光靠卖阀门。中国所有做半导体真空阀门的企业加起来，营收可能还不到 VAT 的零头。

　　更关键的差距不在规模，在于「工艺积累」和「客户信任」。半导体阀门不是你做出来就能卖的。你的产品要在客户的产线上跑半年、一年，稳定性数据积累到足够量，人家才敢用。VAT 跟 ASML、应用材料这些大厂绑了几十年，每一代新设备的开发阶段就参与进去了，阀门是跟设备一起「联调」出来的。这种深度绑定关系，新进入者很难撬动。

　　材料也是个问题。阀门的密封件、阀体材料、表面处理工艺，这些「隐性知识」需要长期的工程积累。你可以把 VAT 的阀门拆开看结构，但配方和工艺参数你看不出来。这跟当年中国追赶芯片的困境很像——知道做什么，不知道怎么做到。

　　还有一层很现实的问题：半导体行业的客户非常保守。换供应商对他们来说是巨大的风险。一个阀门出了问题，可能导致整批晶圆报废，损失几千万。所以即便国产阀门的性能测试数据不错，客户也会犹豫很久。

　　国产真空泵的处境稍好一些。中科仪已经在先进产线上批量用了，算是跨过了「客户信任」这道槛。但真空阀门的国产化率还在个位数，高端阀门领域的突破还需要时间。

　　不过换一个角度看，五年前谁能想到国产干式线纳米产线？十年前谁能想到沈阳能长出一个半导体装备集群？

　　沈阳这个城市有个特殊的基因：它是共和国重工业的摇篮。1958年就有了真空技术研究所，同一年中科院在沈阳建了科学仪器研制中心。那时候做的是国防军工用的真空设备，跟半导体一毛钱关系都没有。但几十年积累下来的精密加工能力、真空技术底蕴，到了今天变成了半导体设备零部件的底牌。

　　富创精密2025年的营收超过35亿，拓荆科技、芯源微、中科仪也都在往上走。沈阳浑南那片「北方芯谷」里现在有几十家半导体相关企业。以前人们提到沈阳，想到的是鞍钢、沈飞、一汽。现在多了一批名字：拓荆、芯源微、富创、中科仪。

　　这些企业养活了不少人。不是那种动辄几万人的大厂，但都是年薪十几二十万起步的技术岗。材料学、精密加工、真空技术、自动化控制，这些专业在沈阳突然变得很吃香。

　　一个阀门，比手掌大不了多少，但它卡在整个半导体产业链的咽喉上。瑞士人靠这一个小东西一年赚80亿。中国企业现在能做了，但还在验证、在追赶、在一点一点磕客户信任。